设备简介

    Quanta450 FEG系列场发射环境扫描电子显微镜是FEI公司的最新产品之一。是在FEI公司著名产品XL30 ESEM-FEG场发射环境扫描电子显微镜的基础上发展而来的。 

    Quanta FEG场发射环境扫描电子显微镜综合场发射电镜高分辨和ESEM环境扫描电镜适合样品多样性的优势，可对各种各样的样品（包括导电样品、不导电样品、含水含油样品、加热样品等等）进行高分辨的静态和动态观察和分析。 

    Quanta FEG具有优异的系统扩展性能，可同时安装能谱仪、波谱仪、EBSP、阴极荧光等附件。

设备性能指标

.分辨率： 

二次电子: 

高真空模式 1.0nm @ 30kV; 3.0nm @ 1kV 

高真空减速模式 2.3nm @ 1kV, 3.1nm @ 200V  

低真空模式 1.4nm @ 30kV; 3.0nm @ 3kV 

环境真空模式 1.4nm @ 30kV 

背散射电子:高真空和低真空模式: 2.5nm @ 30kV 

扫描透射STEM探测器: 0.8nm @ 30kV 

加速电压 200V ～ 30kV, 连续可调 

高稳定性Schottky场发射电子枪 

最大束流 200nA 

样品室压力最高达4000Pa 

样品台移动范围　X=Y=100mm 

稳定的大束流(最大200nA)确保高速、准确的能谱、波谱和EBSD分析 

带冷台、加热台、拉伸台等进行样品原位、动态观察和分析