设备简介

   安捷伦公司生产的NANO Indenter G200型纳米压痕仪能通过实时记录力和对应位移深度的曲线来测量纳米或微米级薄膜材料力学性能。该仪器不仅提供纳米压痕功能，同时也提供纳米划痕功能和台阶仪功能，即不仅可以满足薄膜硬度、弹性模量等性能的测量，还可实现薄膜与基体之间的结合力和定量表面形貌的测量。

设备性能指标

1) 纳米压痕测试功能

压头总的位移范围                     ³1.5mm

最大压痕深度                       ³500mm 

位移分辨率                         £0.01nm

加载模式                          电磁力加载

位移测量                          三片电容位移传感器

最大载荷                          ³500mN

载荷分辨率                         £50nN

最小接触力                         £1.0mN

仪器框架刚度                        ³5x106 N/M

更换压头时间                        £ 60s

内置一个Berkovich 金刚石压头，顶部曲率半径:  £ 20nm

符合ISO 14577-1，2，3国际标准

实时温度测量、采集并显示

2) 划痕测试功能

该部分硬件应包括X方向和Y方向两个摩擦力传感器和控制系统。

系统能够扫描并显示试样表面任意方向的轮廓图,实现台阶仪功能。

系统能够执行线性变载或恒定载荷模式下的划痕测试，并自动给出薄膜与基底材料之间的临界附着力，摩擦力和摩擦系数，划痕深度、划痕宽度、凸起高度以及材料的粘弹性恢复等力学性能。主要技术参数如下：

最大划痕力（Z方向）                        ³500 MN

最大摩擦力（X和Y方向）                      ³250 MN

摩擦力分辨率（X和Y方向）                     £2 MN

摩擦力的典型噪音水平（X和Y方向）               £50 MN

最大划擦深度                             ³500 Mm

最大划痕长度                             ³100mm

最大划痕速度                             ³100mm/S